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珂玛科技：公司陶瓷加热器已有多款类型安装于SACVD、PECVD、LP和激光退火设备等安装于刻蚀机的8寸类型静电卡盘也现已量产
珂玛科技：公司半导体设备中心部件陶瓷加热器完成国产代替该类模块类产品处理了下流晶圆厂商CVD设备要害零部件的“卡脖子”问题
珂玛科技：陶瓷加热器及8寸类型静电卡盘现已量产将要点研制12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件
千斤铝棒升温记——世界首台兆瓦级高温超导感应加热装置研发纪实
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